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1200度滑動式快速退火爐博萊曼特

簡要描述:1200度滑動式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動,可使?fàn)t管快速冷卻;本機(jī)可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號:BLMT-1200GH
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-05-08
  • 訪  問  量: 2073

詳細(xì)介紹

品牌博萊曼特價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工

1200度滑動式快速退火爐博萊曼特BLMT-1200GH詳細(xì)介紹

 

1200度滑動式快速退火爐博萊曼特為一款滑軌式真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。爐體可以在滑軌上移動,可使?fàn)t管快速冷卻;本機(jī)可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。

控溫儀表操作視頻

 

產(chǎn)品型號

滑動式真空管式爐YB-1200GH

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要選配冷水機(jī)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭)

主要特點

1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

2、滑軌式結(jié)構(gòu),方便取放樣品以及快速冷卻。

3、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己鸵粋€額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。

4、采用PID控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:單相220V/380V 8KW

2、石英管:外徑80mm,內(nèi)徑70mm,長1500mm

3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區(qū)域:400mm

5、恒溫區(qū)域:200mm

6、工作溫度:≤1100℃,連續(xù)工作400-1000

7、升降溫速率:≤10/min

8、控溫精度:±1

9、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

10、熱偶檢測真空接口:KF-25口:1

11、進(jìn)氣接口:2路(可根據(jù)客戶要求設(shè)計多路進(jìn)氣),精密不銹鋼針閥密封

12、爐體:1300mm×680mm×920mm

13、滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管堵

1

2

KF-25真空擋板閥

1

可選配件

1、軟件接口

2、K型熱電偶(用于對爐膛溫度校準(zhǔn))

3、冷水機(jī)

4、高速雙極旋片泵

5、數(shù)顯真空計

6、高真空機(jī)組(機(jī)械泵和渦輪分子泵)

5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

6、石英樣品架

7、可移動爐架(800mm×600mm

 

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